新材料专题报告之湿电子化学品行业深度研究(18)

（1）制绒
由于太阳能电池硅片切割过程中的线切作用，硅片表面往往存在 10-20 微米的损 失层，因此制备太阳能电池时需利用化学腐蚀去除这层机械损伤层，并进行硅片表 面织构化，即制绒。通过化学腐蚀在硅片表面形成凹凸不平的结构，延长光在电池 表面的传播路径，减少光反射造成的光损失，从而提高太阳能电池对光的吸收效率。 同时，绒面也能对后续组件封装的光匹配有比较大的帮助，可减少组件封装的损耗。
单晶硅采用的碱处理制绒，多晶硅采用的酸处理制绒。目前，晶体硅太阳能电 池的绒面一般是通过化学腐蚀方法制作完成。针对不同硅片类型，有两种不同的化 学液体系的制绒工艺，过程中使用的碱/酸处理剂，以及配合使用的清洗剂，都属于 湿电子化学品范畴。单晶太阳能电池片的制绒加工，是利用单晶片各向异性的腐蚀 特性由强碱对硅片表面进行一系列的腐蚀，形成似金字塔状的绒面，所用处理剂为 氢氧化钠（或氢氧化钾）、异丙醇（或乙醇）、硅酸钠、绒面添加剂等；多晶硅片的 制绒加工，是利用强腐蚀性酸混合液的各向同性的腐蚀特性对硅片表面进行腐蚀， 所用的主要处理剂为硝酸、氢氟酸以及添加剂。多晶硅制绒还有机械刻槽、反应离 子腐蚀（RIE）等其他方法，但机械刻槽要求硅片厚度在 200 微米以上，RIE 设备复 杂且昂贵，相对来说，酸性腐蚀法工艺简单、成本低廉，仍是大多数公司的选择。
（2）清洗
太阳能电池片清洗加工，一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污，因为有机 物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化 膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污。 因此太阳能电池片的典型清洗的工艺顺序为：去分子（超声清洗）→去离子→去原 子→去离子→水冲洗。根据清洗杂质的类型不同，清洗过程中使用的湿电子化学品 也有所不同。