DRC对圆形的图形如何检查宽度?

2023-04-30 来源:飞速影视
在普通的DRC宽度检查中,假设约束规则是最小宽度为1um,那么,下图直径为1um的图形是否符合宽度约束呢?

DRC对圆形的图形如何检查宽度?


DRC Code是:
rule1 {
INT M1 < 1.0 ABUT<90 SINGULAR REGION
}
答案是:一个圆形的图形如果直径刚好等于1um,则使用DRC工具检查上述图形会报错。原因是:在版图中圆形是一个理想图形,实际上它是由一个多边形来近似构成的。多边形的边可以是64条边、也可以是32条边、16条边等。多边形的任意两个边之间的距离会小于1微米,因此DRC工具会报错。
但是,如果用户的需求是:允许直径是1um的圆形为good pattern,不要报错。那么,DRCCode该如何写呢?
rule1 {
INT M1 < 1.0 ABUT<90 SINGULAR OPPOSITE SYMMETRIC REGION
}
在宽度检查中,OPPOSITE的作用就是把相互投影长度为0的边不要做检查,这样就过滤掉了圆形图形中2条不是在直径方向上的不相邻边的宽度检查。
OPPOSITE SYMMETRIC的具体含义,如下图解释:

DRC对圆形的图形如何检查宽度?


该选项需要做7个步骤,具体如下:
1. Given edges A and B, applythe Opposite metric if A and B are parallel, perpendicular, or intersecting.
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