DRC对圆形的图形如何检查宽度?(3)
2023-04-30 来源:飞速影视
7. Produce no output for edge Aif both OA and PA are non-existent. Produce no output for edge B if both OB andPB are non-existent.
其结果是: OA PA的线段作为A 图形的报错输出,OB PB的线段作为B图形的输出。
同时,上述圆形图形的直径也不能刚好等于1微米,其直径是:1/cos(360/2n),n是圆形的多边形近似边数。
例如:
如果是64边形,则直径应该等于1.001206。
如果是32边形,则直径应该等于1.004839。
如果是8边形,则直径应该等于1.08239。
因此,当DRC规则是宽度最小为1um时,圆形的直径应该略大于1,才能保持DRC规则正确。边数越多,直径越接近1。
那么,如何验证DRC Code可以正确地检查圆形图形的宽度错误呢?这就需要用到自动化的DRC Test Pattern生成和验证工具scout了。
首先打开Scout Rule Editor的图形界面,如下:
该命令定义Layer1图形宽度的最小值为minValue,也可定义图形的最大宽度值为maxValue,也可同时限制图形的最小宽度值与最大宽度值。
在没有任何选项的条件下,该命令生成的good pattern图形如下:
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