天准科技：机器视觉工业平台化布局，泛半导体领域有望持续突破(11)

半导体设备行业中，前道量检测设备主要运用光学技术、电子束技术等测量晶圆的薄膜厚度、关键尺寸等，或检测产品表面存在的杂质颗粒、机械划伤、晶圆图案缺陷等，贯穿光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP 等晶圆制造的全部工序。中国大陆前道量检测市场规模由 2016 年的 7.0 亿美元增长到 2020 年的 21.0 亿美元，年复合增长率达到 31.61%。

2021 年天准科技光伏半导体营业收入达到 2.94 亿元，毛利率为 40.84%。目前公司主要产品包括晶圆前道测量、掩模测量、红外测量设备等，着手推动国产化生产落地，于 2022 年下半年开始组装生产，达产后可以实现设备产能翻番。
图表 30 半导体前道检测设备 图表 31 2019-2021 天准科技光伏半导体营业收入及毛利率

2021 年公司完成收购德国 MueTec 公司 100%股权，MueTec 成立于 1991 年，主要产品为面向前道晶圆的高精度的光学测量设备，包括 OCD 和OverLay。
天准科技 收购后积极推进 MueTec 产品线技术升级，以覆盖 55nm、28nm 等工艺节点；加强 MueTec 现有产品的推广，特别针对中国市场的推广，同时在开始在国内建设相关产品的产能，以支撑业务的增长。