电子半导体洁净室设备龙头，美埃科技：三大优势构筑核心竞争力(8)

单万片每月的晶圆/面板产能所需过滤设备金额为635~1190万元/638~15301万元，项目扩建将快速释放过滤设备市场空间。前文提到晶圆厂对洁净室的要求在ISO3-4级，面板厂的要求为ISO4-7级，不同的洁净室等级对应的FFU铺设面积占洁净厂房总面积的比例不同。
通过具体项目的产能及洁净室信息，我们发现，单万片/月产能的晶圆厂/面板厂所需洁净室面积分别为0.6/9.2平方米，单万片/月晶圆/面板产能所需过滤设备金额为635~1190万元/638~15301万元。晶圆厂/面板厂项目扩建将快速释放过滤设备市场空间。