用钱堆出来的FinFET工艺(12)

有关华虹集团的FinFET的情况不多。2020年1月，华虹集团表示，14纳米FinFET工艺研发获重大进展，工艺全线贯通，SRAM良率超过25%，2020年将快速推进，并表示更先进技术节点的先导工艺研发快速部署。
FinFET工艺产能建置隐忧
目前看来，FinFET的玩家多达七家，如果产能一旦建置完成，会否造成产能过剩。我们先来看看几个玩家的产能建置情况。
台积电最早生产FinFET始于2014年，目前FinFET工艺有5个基地，分别是位于台湾新竹的FAB12、台湾台南的FAB14和FAB18、台湾台中的FAB15和江苏南京的FAB16。各工艺节点的布局是，16/12纳米由FAB14和FAB16负责生产，合计月产能约15万片；7纳米由FAB15负责生产，合计月产能约15万片；5纳米主要在FAB18生产，目前FAB18 P1/P2的建置产能达10万片。当然FAB12是台积电的研发基地，各工艺节点的产能都可以协调。如此算来，台积电的FinFET月产能总计不下于40万片12英寸晶圆。
三星目前生产FinFET工艺始于2014年，最早是在位于美国奥斯汀的S2生产14纳米FinFET，目前S2负责14/11/10纳米生产；后来陆续将投入S1和S3工厂，位于器兴的S1负责14/11/10/8纳米工艺生产；位于华城的S3主要负责10/8纳米工艺生产；2020年2月，位于华城的EUV专用生产线V1投产，制造EUV方案7/6纳米产品。另外，在FAB17厂区，也建有部分FinFET产能。如此估算三星的FinFET月产能总计约为25万片12英寸晶圆。
格芯半导体的14/12纳米FinFET在美国纽约的FAB8生产，建置月产能约在2万至3万片之间。而联电目前生产FinFET工艺是在FAB12A厂，建置月产能约在1万至2万片之间。
中芯国际的FinFET是在位于上海的中芯南方工厂生产，目前有产能约在3000片，根据规划，2020年3月达到4000片，7月达到9,000片，到12月将达到15000片的规模。
目前英特尔虽然有4个工厂使用FinFET工艺，但都是为自家的处理器服务，对外的代工数量非常少，只有一些新初创的设计公司和英特尔进行合作。
如此算下来，到2020年底，不算英特尔在内的全球FinFET月产能超过70万片左右。