用钱堆出来的FinFET工艺(11)

2015年中芯国际成为中国大陆第一家提供28纳米Poly Sion制程服务的纯晶圆代工厂，2016年完成28纳米HKMG制程，并成功流片。
中芯国际从28nm直接转入14nm，2017年5月宣布14纳米研发获得突破；10月16日，梁孟松正式加盟中芯国际。梁孟松在上任后，加强了研发队伍的建设，同时调整更新了14纳米FinFET规划，将3D FinFET工艺锁定在高性能运算、低功耗芯片应用。
在研发进展顺利的同时，14纳米专用生产线的建设也在快速推进中。2016年10月13日，投资百亿美元（675亿元）、覆盖14纳米至10/7纳米工艺节点的中芯南方12英寸生产线正式开工；2018年1月，大基金为14纳米提供金援，入股中芯南方。
2018年第4季度，第一代14纳米FinFET技术进入客户验证阶段，同时12纳米的工艺开发也取得突破；2019年第1季度，12纳米工艺开发进入客户导入阶段，第二代FinFET研发进展顺利；2019年第2季度，第一代14纳米FinFET进入客户风险量产，第二代FinFET N 1技术平台已开始进入客户导入；2019年第3季度，第一代14纳米FinFET已成功量产；第二代FinFET N 1客户导入进展顺利。
华虹集团

华虹集团是国家“909”工程的载体，目前已发展成为以集成电路制造为主业、面向全球市场、具有较强自主创新能力和市场竞争力的高科技产业集团。华虹集团旗下拥有两大制造平台，一是华虹宏力，自建设中国大陆第一条8英寸集成电路生产线起步，目前在上海运营三条8英寸生产线（华虹一、二及三厂），在无锡运营一条月产能4万片的12英寸集成电路生产线，工艺技术覆盖1微米至55纳米各节点，其嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台在全球业界极具竞争力，并拥有多年成功量产汽车电子芯片的经验；二是上海华力，是国家“909”工程升级改造项目承担主体，目前在上海运营两条12英寸集成电路生产线，工艺技术从55纳米起步，最终将具备14纳米三维工艺的高性能芯片生产能力。