ASML的崛起之路(1984):从杠杆剥离中逐渐走向征服之路(21)
2023-12-21 来源:飞速影视
这项专业技术是蔡司在当时能够为哈苏相机制造可靠且先进的光学元件的原因,这家德国公司甚至向GCA提供了数百个g线光刻机镜头。布拉特和范希克也听说过蔡司的神奇故事:你从蔡司订购1个零件,可以保证,即便再买10~20个,它们的精度都能满足规定的规格。
布拉特读了格拉策尔的文章后,直接把这个信息告诉了理查德·乔治。乔治对蔡司会分享这些机密数据而感到惊讶。“我们需要带上这篇文章去巴黎!”蔡司的专业技术是乔治和范希克能抓住的最后一根救命稻草。他们先去了CERCO,为了稳妥起见,他们要求胡格斯制作一套更简单的镜头,这套镜头使用单一波长(g线),并完全按格拉策尔的方法制作。CERCO的首席执行官感受到了压力,他别无选择,只能摊牌。
过去,他能够对光学技术保密,但现在他必须公开讨论镜头的每一个细节,将涉及的核心技术拿到显微镜下展示给飞利浦。
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现在飞利浦意识到,它不能完全依赖CERCO。公司终于下决心终止了和CERCO的合作关系。对布拉特来说,这种感觉就像背叛一样,但是无法避免。1984年年初,ASM和飞利浦的合资企业正在筹划中,他们需要一家可靠的供应商来提供大量高级镜头。因此在年初,布拉特和范希克前往德国奥伯科亨,询问蔡司是否愿意为他们制造光学元件。
范希克对这次访问满怀激情,那时他负责S&I的PAS 2000的光学部分。10年前,他在Natlab凭一己之力开发了它的第一个版本——SiRe1。与ASM的合资企业终于使他的机器有机会投入量产。当他和布拉特飞到蔡司时,他的夹克口袋里带着一张宏大的愿望清单——他想要定制光学元件。首先,范希克希望有一个大口径透镜来为制造更大的芯片提供更高质量的图像;此外还需要一组特殊的棱镜和镜头来实现ASML独有的经由透镜的对准技术。
在Natlab,布拉特正在开发第三个版本的晶圆重复曝光光刻机。如果第三方供应商未能按时交付,该机器将确保Megachip项目有基础的光刻设备。应飞利浦集团负责人爱德·胡斯特(Ad Huijser)的要求,布拉特设计了一个i线物镜,以切身感受光学元件的复杂性。这意味着布拉特非常熟悉这些镜头的细微误差。布拉特和范希克也知道蔡司正在研究i线光学元件,他们猜测该公司的工程师们会迫切地想讨论这个问题。
在奥伯科亨,范希克和布拉特见到了蔡司研发实验室的负责人格哈德·伊特纳(Gerharcl Ittner)。这位物理学家自1970年以来一直在此工作,并切身体会到其低端摄影产品线是如何被日本的竞争对手击败的。德国相机制造商已经停止下订单,这让蔡司有时间为GCA提供光学元件以用于制造晶圆重复曝光光刻机以及后来的步进光刻机。这项工作也与哈苏相机的高端产品非常吻合。因此,芯片光刻也拯救了蔡司。
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