ASML的崛起之路(1984)：从杠杆剥离中逐渐走向征服之路(20)

光学设计和制造是一门科学，但也是一门艺术。除了巧妙的思考和精确的计算，它还需要有10年经验的工匠和经验丰富的“天使之手”来研磨和抛光镜头。Natlab的工厂车间没有这种技术。第二次世界大战后，该实验室的技术涉及了一系列学科，但光学却不在其中。除了玻璃吹制车间和机械加工车间，Natlab确实还有一个光学车间，甚至还有一台非常好的研磨机，但这些对显微镜镜头那样精密的东西来说连入门都算不上。这时CERCO公司出现了。
飞利浦与这家法国小型光学专业机构的关系很好，而且合作时间很长。多年来，Natlab的研究人员和S&I的工程师一直很乐意前往巴黎诉说他们的需求。合作的气氛总是友好的。
20世纪70年代末，CERCO做出承诺：为PAS 2000设计和生产代号为“超级郁金香”的光学元件。该镜头能够利用汞蒸气灯的两条光谱线来生成图像。
但在20世纪80年代初，Natlab的工程师逐渐发现，他们对镜头的要求不断提高，已经超出了CERCO的能力范围。法国专家们越来越力不从心，却贸然揽下高难度的项目。他们付出了大量的心血和汗水，成功地制造了一套新的镜头，但当飞利浦订购5套相同的镜头时，他们却做不出一样的来了。Natlab的要求越高，CERCO无法兑现承诺的频率就越高。
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正因为如此，1983年赫尔曼·范希克前往巴黎讨论一个先进镜头的制作时，飞利浦顶级光学专家之一约瑟夫·布拉特与他随行。这个镜头将是飞利浦和西门子联合成立的Megachip芯片项目的支柱。CERCO热情地接下了订单，该公司将设计和制造名为Crocus的镜头。
但是，当布拉特在一个月后检查原始设计时，他得出结论：这个光学元件过于复杂而无法制造。他怀着沉重的心情前往巴黎，提醒CERCO的首席执行官胡格斯，但胡格斯还是决定试着制造这些镜头。几个月后，CERCO将第一套Crocus镜头发送给飞利浦，布拉特的担忧成真了。这些光学元件不符合要求。CERCO不能交付镜头，这次失败是这家法国光学公司和飞利浦合作终止的开端。
碰巧在这时，布拉特读到蔡司的著名光学专家俄哈德·格拉策尔（Erhard Glatzel）的一篇文章。在文章中，格拉策尔描述了如何以可制造的方法来设计光刻机镜头。在具有数十个独立透镜元件的光柱中，总是会慢慢出现错误。格拉策尔展示了如何最大程度地利用各种技术来设计出能正常工作的光学系统，尽管存在一些不可避免的错误。