ASML的崛起之路(1984):从杠杆剥离中逐渐走向征服之路(19)
2023-12-21 来源:飞速影视
1984年6月,斯密特与乔治、范凯塞尔和吉尔·詹森用了几天时间一起制订了说服董事会的计划。他从ASM和飞利浦于1983年夏天撰写的合资企业原始商业计划着手。斯密特对在SEMICON West展会上的见闻记忆犹新,他认为股东们有点搞不清状况,根本不知道他们在想什么。
一年前,ASM和飞利浦发布文件,要求该合资企业逐步将年产量提高到75~100台。这样1988年的年收入将为9,500万~1.05亿美元。斯密特总结道,这并不多。如果分析人士的预测准确,这样的业绩意味着ASML还在艰难地防守。斯密特告诉他的队伍,在光刻机厂商排名中垫底意味着最终仍会失败,“在这种情况下,我们不如现在就放弃。”
斯密特的设想完全不同。他知道,他将不得不投入巨资来开发一台新机器。同时,公司必须投资设备进行大规模生产。
令斯密特感到困惑的是,为什么最初的商业计划中提到部分光刻机仍基于旧的PAS 2000进行研发,很明显油压驱动系统在芯片厂是不受欢迎的。在S&I,他们甚至没有试图用机电技术取代液压装置,而这也是ASML现在落后的原因之一。
但是在1984年的夏天,大家并没注意到这一点,这甚至使得斯密特和他的管理团队都希望芯片制造商会因其先进的对准技术而购买他们的PAS 2000。此外,这家荷兰公司没有其他机器可供销售。
ASM和飞利浦已就Natlab的专业光刻技术转让达成了一项战略协议。但奇怪的是,电动晶圆台没有包括在协议内。新的机台可高速更换并且非常精确地定位晶圆,这种对准技术会使光刻机台成为Natlab皇冠上的一颗明珠。但合作协议上表明,ASML不得不稍后再与飞利浦谈这项合作。
很明显,现在这项合作对ASML来说至关重要。为了讨论这个问题,斯密特与当时Natlab的部门主管之一基斯·布休斯(Kees Bulthuis)约定会面。他们同意ASML以93万美元的价格购买这项技术。
从CERCO到蔡司
CERCO无法满足光刻机光学元件日益严格的要求,但蔡司并不想帮忙。
为了制造大规模集成电路芯片,整个行业需要可以产生更小的清晰图像的新镜头。他们必须将这些电路图投射到更大的视域里,这样这个行业才能制造更大的芯片,从而提高生产效率。但这种光学元件还不存在。
佳能和尼康拥有自己的镜头制作工厂。即使是GCA也选择收购特罗佩尔公司来获得重要的光学专业镜头。ASML从飞利浦那里获得了大量的技术,但它无法自己制造光学元件,这家刚刚起步的光刻机制造商必须为此向其他国家寻求支持。不幸的是,他们的法国光学元件供应商CERCO给斯密特的感觉就像是在一家飞机制造商那里买不到好引擎一样。
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