半导体检测量测设备行业研究：芯片良率守护者，短板突破正当时(5)

科磊半导体占据检测 量测半壁江山，全球竞争集中度高。2020年，科磊半导体、 应用材料、日立、创新科技、雷泰光电、阿斯麦尔、新星测量仪器、康特科技在全 球检测、量测市场的市占率分别为51%、12%、9%、6%、5%、5%、3%、2%，合 计CR8达92%。
以中科飞测为代表的国内竞争者市占率持续提升。2018-2021年，中科飞测国内市 占率由0.4%提升至1.7%，产品市场认可度逐渐增加。
（二）产品线：本土企业产品覆盖日趋健全，核心产品已获市场认可
1. 海外公司在各产品线深度和广度占据优势地位 科磊半导体对于量测 检测产品线覆盖率达85.3%，且几乎在每一个所涉产品线中均 位列头位；应用材料、创新科技等公司产品覆盖率分别为49.0%、37.0%，并在电子 束缺陷复检等细分领域占据优势。
2. 本土企业通过自主研发拓展产品线，预计短期内产品覆盖率将大幅提升 目前中科飞测、东方晶源、上海微电子、上海睿励批量销售产品所能覆盖的产品份 额分别为19.9%、13.8%、16.0%、3.5%，与此同时，各企业纷纷进行品类拓展， 若包含在验证及小批量出货产品，中科飞测、上海睿励的产品份额覆盖率将达37.9%、 29.7%，具体表现为：
（1）中科飞测：①核心产品：无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌 量测、晶圆介质薄膜量测设备已实现批量销售，构成公司营收主体。②拓展产品： 量测、检测产品向纳米图形晶圆缺陷检测、套刻精度量测、关键尺寸量测、晶圆金 属薄膜量测设备领域拓展，目前，除纳米图形晶圆缺陷检测设备尚处于设计阶段外， 其余三类产品已处于产业化验证阶段，其中套刻精度量测设备（型号十七）已取得 两家客户的订单。产品覆盖度由19.9%预计提升18.0pct至37.9%。
（2）上海睿励：①核心产品：TFX4000系列薄膜厚度量测设备，应用于12英寸大 规模集成电路前端、化合物半导体生产线，可量测透明或半透明介质材料、金属硅化物等半导体材料薄膜。②拓展产品：WSD200、300等系列外观缺陷检测设备，应 用于8寸及12寸图形或无图形晶圆检测；TFX3000 OCD等系列产品，除具有300mm 全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行关键尺寸量测。产品覆盖度由3.5%预计提 升26.2pct至29.7%。
3. 本土企业通过并购海外子公司获得较宽的产品线,有利于发挥协同优势