光刻机详解二：光学邻近校正，毫厘之间的卡脖子技术！(12)
2023-05-04 来源:飞速影视
SMO和ILT技术，将在后面的文内做介绍。
参考资料
[1]. 韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社
[2]. 酷爱健身的VC，卡住半导体芯片脖子的光刻，不光只有机，还有OPC，创投逻辑公众号
[3]. 姜文峰，EUV系统SMO技术和OPC技术的特点，光刻人的世界公众号
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