光刻机详解二:光学邻近校正,毫厘之间的卡脖子技术!(10)

2023-05-04 来源:飞速影视
3.3、明导by西门子(Mentor by Siemens)

光刻机详解二:光学邻近校正,毫厘之间的卡脖子技术!


立于1981年的明导是一家从事电子设计自动化的跨国公司。创立于1981年,总部位于美国俄勒冈州的威尔森维尔,在全球范围大约有4400名雇员,在国内OPC市场上占据主导地位。
西门子(Siemens)与EDA供应商明导国际(Mentor Graphics)在2017年3完成合并,目标指向数字工厂策略。在合并Mentor之后,Siemens在数字工厂市场的占有率,从2017财务年度第一季时的4%,在2018财务年度的第二季增加到20% 。
Mentor的制造工具套件名字叫:CALIBRE系列,提供分辨率增强(RET)所需的数据处理的无缝集成,例如相移掩模(PSM),散射条(SB)和光学邻近校正(OPC),以及掩模规则检查,掩模写入器过程修正和数据格式转换都在一次批量运行中完成。
明导的解决方案基于通用的分层数据库和几何处理引擎,提供诸如图层派生,镜像,缩放,旋转,平面化填充以及全局和选择性大小调整等功能。
Calibration of OPC Models by Mentor
3.4、新思科技(Synopsys)

光刻机详解二:光学邻近校正,毫厘之间的卡脖子技术!


1987年成立的Synopsys,正如公司的英文组合(Synthesis optimization systems)一样,在逻辑综合市场几乎没有竞争对手。新思总部设在美国加利福尼亚州,超过60家分公司分布在北美、欧洲、亚洲。新思科技1995年进入中国市场,建立了上海、北京两个研发中心,整合了200多位研发人员,近5年销售额平均增长率超过50%。
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